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非球面的廣泛應(yīng)用
這里的非球面,是指中心對(duì)稱(非自由曲面)的光學(xué)器件,其特點(diǎn)是表面曲率半徑從透鏡的中心到邊緣是變化的。
非球面器件可以優(yōu)化光學(xué)性能,減少系統(tǒng)光學(xué)組件數(shù)量,從而減少系統(tǒng)的重量和尺寸。非球面設(shè)計(jì)能有效減少球差,以及控制其它高階像差;從而提高光束聚焦和成像光收集效率。
這些特性在空間寶貴的小型成像應(yīng)用中,非常關(guān)鍵。*典型的場(chǎng)景包括,手機(jī)攝像頭、激光光束整形、光刻物鏡、夜視光學(xué)等等。
非球面的計(jì)量
新的非球面光學(xué)制造工藝,需要適合的非球面計(jì)量方案,確保非球面器件符合應(yīng)用要求。
由于非球面光學(xué)表面,面形精度高,易于劃傷,所以非接觸式計(jì)量至關(guān)重要。如3D光學(xué)輪廓儀和激光干涉儀,可以無(wú)損測(cè)量得到3D形貌地圖,更好地了解光學(xué)表面和加工工藝。
我們提供多種非球面計(jì)量解決方案,用于測(cè)量不同尺寸非球面器件,適用于研發(fā)或批量制造不同場(chǎng)景。
-Compass?專業(yè)手機(jī)攝像頭計(jì)量解決方案
Compass?解決方案,基于ZYGO白光輪廓儀及子孔徑拼接技術(shù),以非接觸方式,檢測(cè)手機(jī)攝像頭中的非球面透鏡;注塑用模仁的3D形貌及相關(guān)尺寸參數(shù)。
-Verifire Asphere?環(huán)帶拼接 非球面解決方案
Verifire Asphere解決方案,使用標(biāo)準(zhǔn)球面標(biāo)準(zhǔn)鏡TS,基于環(huán)帶拼接技術(shù),檢測(cè)百毫米級(jí)尺寸的各類非球面透鏡表面形貌,以及曲率半徑。
-CGH (Computer-Generated Holograms) 激光干涉計(jì)量方案
CGH作為一種神奇的波前“轉(zhuǎn)換器”,可以將干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試波前,轉(zhuǎn)化成為非球面測(cè)試波前,從而讓普通激光干涉儀,能用于各類非球面面形測(cè)量。
用于激光干涉的CGH,通常是透射式計(jì)算全息,理論上講可以生成任意形狀的自由波前。配合菲索式激光干涉儀,CGH可以使測(cè)試激光波前,垂直于被測(cè)非球面表面,以零條紋光路測(cè)試(如上圖)。
這一零條紋測(cè)試光路特性,加上激光干涉儀可以以非拼接方式,對(duì)非球面進(jìn)行**形檢測(cè),使CGH成為批量測(cè)試超高精度非球面面形的*優(yōu)解決方案。
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上海浦量元精密機(jī)電有限公司